應用案例 | 穆爾電子助力半導體PVD工藝案例分享

　　穆爾電子基于分布式的理念及創新技術已應用于半導體生產中的光刻機、PVD、CMP、離子注入機、清洗設備等多款核心關鍵設備。融合新技術、控制生產、提高效率、降低成本，是保持半導體行業競爭力的重要手段。

　　其中，薄膜形成的PVD工藝是半導體工藝流程中的重要環節之一，它直接影響到了集成電路獲取的良品率。

應用背景

　　設備中涉及400個左右的信號需要處理，包括數字量、模擬量和計數器。企業需要尋找行業中穩定且應用廣泛的IO系統來連接設備。需求穩定、精確、高效和經濟性的數字化通信和分布式安裝解決方案。

應用挑戰

　　● PVD設備對系統的持續運行和設備的穩定性要求很高，不必要的停機或者非計劃的停機都有可能導致PVD設備內部腔體的損壞。

　　● 設備的IO系統需要可以在全球購買到同樣的備件，達到后續全球化的愿景。

　　● 節省大量的安裝時間，提高成本效益。

　　穆爾電子解決方案

　　● 集成智能電流監控(Mico)功能

　　過壓，過載，短路保護

　　● 更靈活的組合應用

　　每個I / O模塊具備32個通道，最多可配置488個I / O(寬度僅90cm)

　　● 最小地址需求

　　整個系統可帶1024個點，只需一個IP地址

　　CUBE67&CUBE20 產品優勢

　　縮小控制柜尺寸，安裝快速簡便，通過“自動查找故障而不是搜尋故障”，從而提高生產效率。

　　● 以客戶為導向的安裝理念，針對任何特定應用的完美定制解決方案。

　　● 通過降低設計和安裝布線工作量，實現良好的成本效益。

　　● 通過多功能接口和眾多功能模塊提供極高的靈活性。(IO-Link,RS485/MOVIMOT?…)

　　● 獨立的系統對全球所有通用總線系統實現了“更換總線而無需更換系統”。

　　● 通過精確和詳細的診斷選項實現系統透明運行。

Emparro電源和MicoPro，用于管理24V直流的模塊化系統

　　穆爾電子同時還提供了針對未來的解決方案。Emparro開關電源，不但設計緊湊，而且保證最大可靠性高效率供電。Mico Pro智能電流模組，可以實現更加智能的24V直流電源管理，借助Mico Pro能夠調整當前的電流監測。即使在空間和成本有限的情況下，也能游刃有余。Mico Pro智能電流模組持續監測所有的負載和控制電流，并在正確的時間識別關鍵時刻狀態。這保證了最佳的機器可用性，同時集成的電位分配，大大簡化了開關柜的布線。

（文章來源：穆爾電子Murrelektronik）